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在“十四五”規(guī)劃下，中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)有了良好的發(fā)展環(huán)境，整體呈現(xiàn)出昂揚(yáng)向上的態(tài)勢(shì)。國(guó)際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì)的數(shù)據(jù)顯示，中國(guó)作為全球最大的半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)，在2023年第一季度的出貨金額達(dá)到268億美元，同比增長(zhǎng)了9%。隨著半導(dǎo)體行業(yè)的深入發(fā)展，制造出更高質(zhì)量的芯片成為了半導(dǎo)體企業(yè)專精突破的一大方向。而在此過程中，更精細(xì)化和更高效率的檢測(cè)設(shè)備勢(shì)必能夠?yàn)榘雽?dǎo)體行業(yè)的創(chuàng)新突破增添助力。

作為專業(yè)的光學(xué)儀器和解決方案提供商，Evident不斷開拓創(chuàng)新，積極參與并助力中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展，針對(duì)半導(dǎo)體企業(yè)的不同需求，提供高效完善的定制化解決方案。6月29日至7月1日，Evident與全球半導(dǎo)體制造領(lǐng)域主要的設(shè)備及材料廠商齊聚SEMICON China，深入交流并探尋更多的合作機(jī)會(huì)。SEMICON China自1988年舉辦以來(lái)，已成為中國(guó)首要的半導(dǎo)體行業(yè)盛事之一。該平臺(tái)連接2500多家會(huì)員企業(yè)和全球130萬(wàn)專業(yè)人士，共同為推進(jìn)科學(xué)和電子制造行業(yè)進(jìn)步做出貢獻(xiàn)。

再度參展，Evident帶來(lái)了旗下諸多工業(yè)顯微鏡產(chǎn)品，以展現(xiàn)其傳承奧林巴斯百年高新科技的創(chuàng)新成果。DSX1000數(shù)碼顯微鏡、OLS5100 3D測(cè)量激光顯微鏡、MX63L顯微鏡和AL120晶圓搬送機(jī)等核心產(chǎn)品一經(jīng)亮相，引來(lái)眾多業(yè)內(nèi)人士的關(guān)注和咨詢。Evident提供的解決方案能夠?yàn)榭蛻粼诎雽?dǎo)體生產(chǎn)中的多個(gè)場(chǎng)景提供支持，從宏觀到微觀，滿足客戶的不同需求。

DSX1000數(shù)碼顯微鏡

速度、精度、解析應(yīng)有盡有

在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中，95%以上的集成電路和半導(dǎo)體器件都是在晶圓上進(jìn)行加工制作的。看似平平無(wú)奇的晶圓，卻是半導(dǎo)體電路的重中之重。

DSX1000數(shù)碼顯微鏡

使用顯微鏡檢測(cè)半導(dǎo)體晶圓上的制造缺陷是半導(dǎo)體制造過程中必不可少的一個(gè)步驟。此過程的挑戰(zhàn)性在于檢測(cè)人員必須每次更換鏡頭以找到最佳的觀察方法，而在更換鏡頭時(shí)，觀察位置很容易改變，從而迫使使用者耗費(fèi)更多時(shí)間重新對(duì)焦，大大降低了檢驗(yàn)效率，并且更換鏡頭時(shí)也會(huì)面臨再次損害晶圓的風(fēng)險(xiǎn)。

此次參展的DSX1000數(shù)碼顯微鏡中大多數(shù)物鏡支持多種觀察方法，用戶可以快速確認(rèn)和選擇各類觀察圖像。多功能控制臺(tái)可實(shí)現(xiàn)快速、平穩(wěn)的分析，通過按下控制臺(tái)上的按鈕或單擊用戶界面，即可同時(shí)查看六種觀察方法下的樣品。另外，DSX1000中配備的遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)使得圖像和結(jié)果更加優(yōu)良，憑借有保證的準(zhǔn)確度和重復(fù)性，可實(shí)現(xiàn)更快速的失效分析。

OLS5100 3D測(cè)量激光顯微鏡
穩(wěn)定、可靠、智能盡在掌握

隨著半導(dǎo)體設(shè)備朝著微型化、輕量化發(fā)展，芯片制造對(duì)精度和效率都提出了更高的要求。OLS5100 3D測(cè)量激光顯微鏡能夠很好的平衡這兩方面需求，將卓越的測(cè)量精度和光學(xué)性能與智能工具相結(jié)合，為用戶提供更智能的工作流程以及更快速的實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)。

OLS5100 3D測(cè)量激光顯微鏡

憑借亞微米3D觀察和表面粗糙度測(cè)量高水平的準(zhǔn)確性和精度，OLS5100 3D測(cè)量激光顯微鏡可以為用戶穩(wěn)定輸出可靠的數(shù)據(jù)。同時(shí)，智能實(shí)驗(yàn)管理助手能夠自動(dòng)執(zhí)行需要耗費(fèi)大量時(shí)間的任務(wù)，讓分析工作流程更加簡(jiǎn)單。操作員只需將樣品放在載物臺(tái)上，按下開始按鈕即可針對(duì)待測(cè)樣品進(jìn)行精細(xì)的形貌測(cè)量，讓測(cè)試檢驗(yàn)的流程更快、更高效。

MX63L顯微鏡+AL120晶圓搬送機(jī)

靈活、便捷、高效輕松達(dá)成

在半導(dǎo)體制作過程中，對(duì)精確度的要求不言而喻，但現(xiàn)如今對(duì)檢測(cè)的靈活性要求也被更加強(qiáng)調(diào)。AL120和MX63L的組合在展會(huì)眾多高精尖產(chǎn)品中十分搶眼，可以用于大尺寸樣品檢測(cè)，充分展現(xiàn)了其在高質(zhì)量檢測(cè)方面的獨(dú)特優(yōu)勢(shì)。

MX63L顯微鏡+AL120晶圓搬送機(jī)

MX63L顯微鏡利用照明功能，可同時(shí)觀察晶圓的電路圖案和顏色信息，圖像的銳度和清晰度可幫助提高工作效率和改進(jìn)報(bào)告生成過程。結(jié)合AL120晶圓搬送機(jī)，半導(dǎo)體晶圓被快速、安全地從晶圓匣轉(zhuǎn)移到顯微鏡載物臺(tái)。同時(shí)，得益于其360度自動(dòng)旋轉(zhuǎn)功能，檢測(cè)者可對(duì)晶圓的頂面和背面進(jìn)行完整的宏觀檢測(cè)，從而輕松識(shí)別半導(dǎo)體的缺陷和塵埃。

全自動(dòng)顯微鏡BXC系列組件即將登場(chǎng)

與您一同探索更多可能

值得一提的是，用于設(shè)備集成的全自動(dòng)顯微鏡BXC系列組件也于本次展會(huì)首次公開亮相，吸引了眾多行業(yè)客戶駐足停留。該系列致力于提供高品質(zhì)全電動(dòng)顯微鏡組件，結(jié)構(gòu)緊湊并搭載自動(dòng)聚焦模塊，專為OEM集成和開發(fā)而設(shè)計(jì)。

全自動(dòng)顯微鏡BXC系列組件

其多功能性和模塊化性，使其成為檢查或成像應(yīng)用的理想選擇，可用于晶圓對(duì)準(zhǔn)、晶圓缺陷檢測(cè)和圖像拼接等多個(gè)工作流程，彰顯出Evident打破產(chǎn)品應(yīng)用邊界，持續(xù)探索更多可能性的能力和決心。